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产品展示
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  • 量具

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    影像检测、显微镜
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  • 工具

    手动工具
    电动工具
    刃具、量具及磨具
    紧固件及密封件
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    焊接
  • 自动化设备

    气动元件
    数据光传输
    影像传输
    影像传输
    自动螺丝设备
    缺陷品自动检测
    定量供应设备
    自动称量设备
    自动化定位设备
    自动化探伤设备
  • 产业机械

    阀门
    空压机、压缩机
    风机
    电机
    工业吸尘器类
    搬运设备类
    清洗设备
    废油再生设备
    阻燃器
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    滤芯类
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  • 化工产品

    粘结剂
    润滑剂
    防锈、防腐蚀剂
    探伤剂
    清洗剂、剥离剂
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  • 校正维修

    工业仪表校正
    电子电器仪表校正
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    实验室用品校正
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    维修、维护
  • 设计咨询

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  • 节能环保

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  • 株式会社 富士金FUJIKIN FCS-P(压力式流量计)

    FCS-P

    厂家:株式会社 富士金

    ●结构简单
    FCS内部结构相当简单,且是个完全零死角的结构。
    ●卓越的压力变动特性
    上游压力变动时,质量流量控制器输出值会呈现大幅度变化,但FCS则完全没有任何变动。
    ●采用流量参数(FLOW FACTOR)
    采用流量参数,即可利用N2校正,是FCS对应各种气体。
    ●卓越的精准度
    全流量10%以上时,精准度在设定点的±1.0%以下,反之则为全流量的±0.1%以下,精准度相当高。
    ●搭载流量异常诊断功能
    ●反应灵敏
    ●设置位置不受限(MOUNT POSITION FREE)
    ●对应DEVICE NET
    经第三机构测试单位ODVA的测试,完全通过ODVA测试软体VerA-14的测试

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    FCS即流量控制系统(Flow Control System),是专为确立近年来半导 体制程中,


    越来越受重视的蚀刻速率(ETCH RATE)或成膜速率的稳定 性、再现性而开发出来的产品。


    基本操作原理有别于传统的质量流量计, 这是一款经由压力控制,从而达到高精度流量控制目标的崭新产品。


    FCS 能克服气体供应系统所产生的压力变动或干扰等制程上不稳定的因素,提 供给客户无限制且稳定的流量控制。